• 专利标题: 对包含第Ⅷ族金属的表面采用固定磨料制品的平面化方法
  • 专利标题(英): Methods for planarization of group viii metal-containing surfaces using a fixed abrasive article
  • 申请号: CN02825566.6
    申请日: 2002-12-17
  • 公开(公告)号: CN1606486A
    公开(公告)日: 2005-04-13
  • 发明人: G·M·萨布德
  • 申请人: 微米技术有限公司
  • 申请人地址: 美国爱达荷州
  • 专利权人: 微米技术有限公司
  • 当前专利权人: 微米技术有限公司
  • 当前专利权人地址: 美国爱达荷州
  • 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
  • 代理商 卢新华; 段晓玲
  • 优先权: 10/028,616 2001.12.21 US
  • 国际申请: PCT/US2002/040406 2002.12.17
  • 国际公布: WO2003/059571 EN 2003.07.24
  • 进入国家日期: 2004-06-18
  • 主分类号: B24B7/22
  • IPC分类号: B24B7/22 B24D3/00 B24B37/04
对包含第Ⅷ族金属的表面采用固定磨料制品的平面化方法
摘要:
一种平面化方法,其中包括提供包含VIII族金属的表面(优选包含铂的表面),在平面化组合物存在下,将其放到与固定磨料制品接触的位置上,其中固定磨料制品包括硬度不大于约6.5Mohs的许多磨料粒子,它们分散在粘附在底板材料至少一个表面上的粘合剂中。
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