本发明提供形成在基底上并适于沿平行于所述基底薄片表面的方向移动的可移动部件(11)；形成在所述基底上并固定设置在其上的固定部件(10a)；以及平行于基底薄片表面延伸的弹性铰链(6A)至(6D)，其相反两端与可移动部件(11)和固定部件(10a)连接，用于以可移动方式支撑可移动部件(11)。沿垂直于铰链(6A)至(6D)纵向平面的横截面来看，铰链具有随着接近基底顶面而变小的宽度，进而具有梯形或三角形横截面。在要求提供相等弹簧常数的所述铰链顶面上测量的宽度被选定为比具有矩形横截面(等宽)的铰链宽度大，并且这样易于在制造过程中进行光刻。