发明公开
- 专利标题： 一种双向剪切干涉仪
- 专利标题（英）： Two-way shear interferometer
-
申请号： CN200310105872.6申请日： 2003-10-31
-
公开(公告)号： CN1611914A公开(公告)日： 2005-05-04
- 发明人: 陈立武 , 杨建峰 , 赵葆常 , 洪新华 , 郑潮鋆 , 常凌颖
- 申请人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 申请人地址： 陕西省西安市友谊西路234号
- 专利权人： 中国科学院西安光学精密机械研究所
- 当前专利权人： 陕西光电子集成电路先导技术研究院有限责任公司
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市友谊西路234号
- 代理机构： 西安新思维专利事务所有限公司
- 代理商 商宇科
- 主分类号： G01B9/02
- IPC分类号： G01B9/02
摘要：
本发明涉及一种双向剪切干涉仪。其包括棱镜，该棱镜主要由两个分束棱镜2、4和四个平面反射镜1、3、5、6构成，分束棱镜2与分束棱镜4呈分离对称设置在两侧，平面反射镜1设置在分束棱镜2上方，平面反射镜3设置在分束棱镜4上方，平面反射镜5设置在分束棱镜2下方，平面反射镜6设置在分束棱镜4下方。本发明不会在光路中产生杂光且光束能量利用率高。
公开/授权文献
- CN1285877C 一种双向剪切干涉仪 公开/授权日：2006-11-22