发明公开
CN1623871A 工件飘浮装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 工件飘浮装置
- 专利标题（英）： Workpiece levitating device
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申请号： CN200410097982.7申请日： 2004-12-01
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公开(公告)号： CN1623871A公开(公告)日： 2005-06-08
- 发明人: 宫地博 , 上野成央 , 西川武志 , 铃木智
- 申请人： SMC株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： SMC株式会社
- 当前专利权人： SMC株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 范莉
- 优先权： 2003－401990 2003.12.01 JP
- 主分类号： B65G49/06
- IPC分类号： B65G49/06 ; B65G49/07 ; H01L21/68
摘要：
通过与确定于本体(28)中的供给口(26)连接的管(38)向确定于本体(28)中的连通腔室(36)供给压力流体。压力流体通过流体喷射部件(32)而从连通腔室(36)朝着工件(18)喷射，该流体喷射部件(32)由多孔材料制成，并通过板(34)而安装在本体(28)的端表面上。工件(18)通过朝着工件(18)喷射的压力流体和在工件(18)和板(34)之间流动的压力流体而向上漂浮并保持在空中。
公开/授权文献
- CN100522765C 工件飘浮装置 公开/授权日：2009-08-05
IPC分类:
