载体、制造载体和电子器件的方法
摘要:
载体(30)包括第一蚀刻掩模(14)、第一金属层(11)、中间层(12)、第二金属层(13)和第二蚀刻掩模(17)。第一和第二蚀刻掩模(14、17)都可以通过电化学镀附来在一个步骤中设置。在第一金属层(11)和中间层(12)已经通过第一蚀刻掩模(14)构图以后,电元件(20)可以使用导电装置合适地接附到载体(30)。在构图操作中,进一步蚀刻中间层(12),以便在第一金属层(11)下产生蚀刻不足。在设置封装(40)以后,通过第二蚀刻掩模(17)来构图第二金属层(13)。这样,在组装过程期间不需要光刻步骤的情况下获得了可焊接的器件(10)。
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