发明公开
- 专利标题: 载体、制造载体和电子器件的方法
- 专利标题(英): Carrier, method of manufacturing a carrier and an electronic device
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申请号: CN03808057.5申请日: 2003-04-10
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公开(公告)号: CN1647268A公开(公告)日: 2005-07-27
- 发明人: P·A·J·格罗恩休斯 , P·迪克斯特拉 , C·G·施里克斯 , P·W·M·范德瓦特
- 申请人: 皇家飞利浦电子股份有限公司
- 申请人地址: 荷兰艾恩德霍芬
- 专利权人: 皇家飞利浦电子股份有限公司
- 当前专利权人: III,控股6有限责任公司
- 当前专利权人地址: 荷兰艾恩德霍芬
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 原绍辉; 杨松龄
- 优先权: 02076426.2 2002.04.11 EP; 02079544.9 2002.10.30 EP
- 国际申请: PCT/IB2003/001299 2003.04.10
- 国际公布: WO2003/085728 EN 2003.10.16
- 进入国家日期: 2004-10-10
- 主分类号: H01L23/31
- IPC分类号: H01L23/31 ; H01L21/48
摘要:
载体(30)包括第一蚀刻掩模(14)、第一金属层(11)、中间层(12)、第二金属层(13)和第二蚀刻掩模(17)。第一和第二蚀刻掩模(14、17)都可以通过电化学镀附来在一个步骤中设置。在第一金属层(11)和中间层(12)已经通过第一蚀刻掩模(14)构图以后,电元件(20)可以使用导电装置合适地接附到载体(30)。在构图操作中,进一步蚀刻中间层(12),以便在第一金属层(11)下产生蚀刻不足。在设置封装(40)以后,通过第二蚀刻掩模(17)来构图第二金属层(13)。这样,在组装过程期间不需要光刻步骤的情况下获得了可焊接的器件(10)。
公开/授权文献
- CN1315185C 包括载体的电子器件和制造该电子器件的方法 公开/授权日:2007-05-09
IPC分类: