发明公开
- 专利标题: 隔膜促动微机电开关
- 专利标题(英): Diaphragm activated micro electromechanical switch
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申请号: CN02829517.X申请日: 2002-08-26
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公开(公告)号: CN1650383A公开(公告)日: 2005-08-03
- 发明人: 克里斯托弗·V·扬斯 , 珍妮弗·L·伦德 , 凯瑟琳·L·萨恩格 , 理查德·P·沃兰特
- 申请人: 国际商业机器公司
- 申请人地址: 美国纽约州
- 专利权人: 国际商业机器公司
- 当前专利权人: 格芯公司
- 当前专利权人地址: 美国纽约州
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 李晓舒; 魏晓刚
- 国际申请: PCT/US2002/027115 2002.08.26
- 国际公布: WO2004/019362 EN 2004.03.04
- 进入国家日期: 2005-02-28
- 主分类号: H01H57/00
- IPC分类号: H01H57/00 ; G02B26/00
摘要:
一种设置有可弯曲隔膜(60)的微机电(MEM)RF开关,该隔膜促动开关触点或柱塞(40)。隔膜结合有叉指型金属电极(70),所述电极在被DC电场促动时于隔膜中引起应力梯度。该应力梯度引起隔膜(60)的可预测弯曲或位移,并用于机械地移位开关触点(30)。位于空腔(250)内的RF间隙区域(25)与叉指型金属电极(70)之间的间隙(71)完全分离。隔膜在两个相反的方向上被静电移位,从而帮助促动和释放开关。所述微机电开关包括:空腔(250);与作为空腔的边界的第一表面整合的至少一个导电路径(20);与作为空腔(250)的边界的第一表面平行的柔性隔膜(60),柔性隔膜(60)具有多个促动电极(70);以及在离开所述促动电极(70)的方向上附着到柔性隔膜(60)上的柱塞(40),柱塞(40)具有与导电路径电接触的导电表面,打开和闭合该开关。
公开/授权文献
- CN1317727C 隔膜促动微机电开关 公开/授权日:2007-05-23