公开(公告)号：CN1317727C

公开(公告)日：2007-05-23

申请号：CN02829517.X

申请日：2002-08-26

申请人： 国际商业机器公司

发明人： 克里斯托弗·V·扬斯 ,  珍妮弗·L·伦德 ,  凯瑟琳·L·萨恩格 ,  理查德·P·沃兰特

IPC分类号： H01H57/00 ,  G02B26/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01H2057/006

摘要： 一种设置有可弯曲隔膜(60)的微机电(MEM)RF开关，该隔膜促动开关触点或柱塞(40)。隔膜结合有叉指型金属电极(70)，所述电极在被DC电场促动时于隔膜中引起应力梯度。该应力梯度引起隔膜(60)的可预测弯曲或位移，并用于机械地移位开关触点(30)。位于空腔(250)内的RF间隙区域(25)与叉指型金属电极(70)之间的间隙(71)完全分离。隔膜在两个相反的方向上被静电移位，从而帮助促动和释放开关。所述微机电开关包括：空腔(250)；与作为空腔的边界的第一表面整合的至少一个导电路径(20)；与作为空腔(250)的边界的第一表面平行的柔性隔膜(60)，柔性隔膜(60)具有多个促动电极(70)；以及在离开所述促动电极(70)的方向上附着到柔性隔膜(60)上的柱塞(40)，柱塞(40)具有与导电路径电接触的导电表面，打开和闭合该开关。

公开(公告)号：CN1650383A

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：CN02829517.X

申请日：2002-08-26

申请人： 国际商业机器公司

发明人： 克里斯托弗·V·扬斯 ,  珍妮弗·L·伦德 ,  凯瑟琳·L·萨恩格 ,  理查德·P·沃兰特

IPC分类号： H01H57/00 ,  G02B26/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01H2057/006

摘要： 一种设置有可弯曲隔膜(60)的微机电(MEM)RF开关，该隔膜促动开关触点或柱塞(40)。隔膜结合有叉指型金属电极(70)，所述电极在被DC电场促动时于隔膜中引起应力梯度。该应力梯度引起隔膜(60)的可预测弯曲或位移，并用于机械地移位开关触点(30)。位于空腔(250)内的RF间隙区域(25)与叉指型金属电极(70)之间的间隙(71)完全分离。隔膜在两个相反的方向上被静电移位，从而帮助促动和释放开关。所述微机电开关包括：空腔(250)；与作为空腔的边界的第一表面整合的至少一个导电路径(20)；与作为空腔(250)的边界的第一表面平行的柔性隔膜(60)，柔性隔膜(60)具有多个促动电极(70)；以及在离开所述促动电极(70)的方向上附着到柔性隔膜(60)上的柱塞(40)，柱塞(40)具有与导电路径电接触的导电表面，打开和闭合该开关。