发明公开
- 专利标题: 利用多面反射镜的激光加工设备
- 专利标题(英): Laser processing apparatus with polygon mirror
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申请号: CN200410059046.7申请日: 2004-07-29
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公开(公告)号: CN1676269A公开(公告)日: 2005-10-05
- 发明人: 韩裕熙
- 申请人: EO技术有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: EO技术有限公司
- 当前专利权人: EO技术有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 蒋世迅
- 优先权: 10-2004-0022270 2004.03.31 KR
- 主分类号: B23K26/04
- IPC分类号: B23K26/04 ; B23K26/06 ; B23K26/073 ; H01L21/304
摘要:
公开的内容针对采用多面反射镜的激光加工设备,能有效地加工物体。本设备包括:发射激光束的激光发生器;在轴上旋转并有多个反射平面的多面反射镜,它反射从激光发生器入射其上的激光束;和透镜,该透镜在把多面反射镜反射的激光束会聚之后,使该激光束照射到物体上,例如放置在台上的晶片。根据多面反射镜的旋转使激光束照射在晶片上的过程中,移动放置晶片的台,以增大激光束的相对扫描速度,这样能有效地切割晶片。因为它只用激光束切割晶片,所以不必改变任何附加的装置,这样可以改进加工速度和切割效率。此外,可以控制切割宽度,并防止切割加工时从晶片产生的蒸气淀积在晶片切口的再铸造效应,实现高纤细和精确尺寸的晶片切割加工。
公开/授权文献
- CN100363143C 利用多面反射镜的激光加工设备 公开/授权日:2008-01-23
IPC分类: