利用多面反射镜的激光加工设备
摘要:
公开的内容针对采用多面反射镜的激光加工设备,能有效地加工物体。本设备包括:发射激光束的激光发生器;在轴上旋转并有多个反射平面的多面反射镜,它反射从激光发生器入射其上的激光束;和透镜,该透镜在把多面反射镜反射的激光束会聚之后,使该激光束照射到物体上,例如放置在台上的晶片。根据多面反射镜的旋转使激光束照射在晶片上的过程中,移动放置晶片的台,以增大激光束的相对扫描速度,这样能有效地切割晶片。因为它只用激光束切割晶片,所以不必改变任何附加的装置,这样可以改进加工速度和切割效率。此外,可以控制切割宽度,并防止切割加工时从晶片产生的蒸气淀积在晶片切口的再铸造效应,实现高纤细和精确尺寸的晶片切割加工。
公开/授权文献
0/0