公开(公告)号：CN1947239B

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN200480042777.9

申请日：2004-06-02

申请人： EO技术有限公司

发明人： 韩裕熙

IPC分类号： H01L21/78

CPC分类号： B23K26/083 ,  B23K26/066 ,  B23K26/0736 ,  B23K26/082 ,  H01L21/78

摘要： 本发明公开了一种激光加工装置，用于使加工物体时生成的碎屑最少并提高加工效率。该激光加工装置包括：发射来自激光源的激光束的束照射器；束扫描器，用于操作从所述束照射器发射的激光束，将其笔直地重复照射在物体的加工位置的预定间隔上；以及会聚透镜，用于调节从所述束扫描器发射的激光束的焦点。在加工物体期间沿着加工方向移动物体至少一次。根据本发明，能够提高加工效率，并且通过使用掩模来过滤在束扫描反射镜的旋转转折点处照射的激光束而以一致的形态来加工物体，通过把激光束变形为椭圆图案而能够连续地照射激光束。

公开(公告)号：CN100363143C

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200410059046.7

申请日：2004-07-29

申请人： EO技术有限公司

发明人： 韩裕熙

IPC分类号： B23K26/04 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  H01L21/304

CPC分类号： B23K26/08 ,  B23K26/0736 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0821 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/50 ,  H01L21/3043

摘要： 公开的内容针对采用多面反射镜的激光加工设备，能有效地加工物体。本设备包括：发射激光束的激光发生器；在轴上旋转并有多个反射平面的多面反射镜，它反射从激光发生器入射其上的激光束；和透镜，该透镜在把多面反射镜反射的激光束会聚之后，使该激光束照射到物体上，例如放置在台上的晶片。根据多面反射镜的旋转使激光束照射在晶片上的过程中，移动放置晶片的台，以增大激光束的相对扫描速度，这样能有效地切割晶片。因为它只用激光束切割晶片，所以不必改变任何附加的装置，这样可以改进加工速度和切割效率。此外，可以控制切割宽度，并防止切割加工时从晶片产生的蒸气淀积在晶片切口的再铸造效应，实现高纤细和精确尺寸的晶片切割加工。

公开(公告)号：CN1676269A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN200410059046.7

申请日：2004-07-29

申请人： EO技术有限公司

发明人： 韩裕熙

IPC分类号： B23K26/04 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  H01L21/304

CPC分类号： B23K26/08 ,  B23K26/0736 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0821 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/50 ,  H01L21/3043

摘要： 公开的内容针对采用多面反射镜的激光加工设备，能有效地加工物体。本设备包括：发射激光束的激光发生器；在轴上旋转并有多个反射平面的多面反射镜，它反射从激光发生器入射其上的激光束；和透镜，该透镜在把多面反射镜反射的激光束会聚之后，使该激光束照射到物体上，例如放置在台上的晶片。根据多面反射镜的旋转使激光束照射在晶片上的过程中，移动放置晶片的台，以增大激光束的相对扫描速度，这样能有效地切割晶片。因为它只用激光束切割晶片，所以不必改变任何附加的装置，这样可以改进加工速度和切割效率。此外，可以控制切割宽度，并防止切割加工时从晶片产生的蒸气淀积在晶片切口的再铸造效应，实现高纤细和精确尺寸的晶片切割加工。

公开(公告)号：CN1947239A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200480042777.9

申请日：2004-06-02

申请人： EO技术有限公司

发明人： 韩裕熙

IPC分类号： H01L21/78

CPC分类号： B23K26/083 ,  B23K26/066 ,  B23K26/0736 ,  B23K26/082 ,  H01L21/78

摘要： 本发明公开了一种激光加工装置，用于使加工物体时生成的碎屑最少并提高加工效率。该激光加工装置包括：发射来自激光源的激光束的束照射器；束扫描器，用于操作从所述束照射器发射的激光束，将其笔直地重复照射在物体的加工位置的预定间隔上；以及会聚透镜，用于调节从所述束扫描器发射的激光束的焦点。在加工物体期间沿着加工方向移动物体至少一次。根据本发明，能够提高加工效率，并且通过使用掩模来过滤在束扫描反射镜的旋转转折点处照射的激光束而以一致的形态来加工物体，通过把激光束变形为椭圆图案而能够连续地照射激光束。

公开(公告)号：CN100531999C

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200410097884.3

申请日：2004-11-30

申请人： EO技术有限公司

发明人： 韩裕熙 ,  弘银晶

IPC分类号： B23K26/06

CPC分类号： B23K26/0736 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0821 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50

摘要： 公开了通过一个多面反射镜提高目标处理效率的一种激光处理设备及方法。该激光处理设备包含一个激光发生器，输出具有预定直径的激光束；一个多面反射镜，具有多个反射面，绕一个轴旋转，以反射来自激光发生器的入射到反射面上的激光束，其中设置反射面的数量使得激光束可以覆盖多面反射镜的至少两个反射面；以及一个透镜，使从多面反射镜反射的激光束会聚和照射。根据本发明，通过将激光束分成多个入射到多面反射镜的反射面，并且借助于分开的激光束以低能量反复处理目标，能够提高目标的处理效率和产品产量。

公开(公告)号：CN1736651A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200410097884.3

申请日：2004-11-30

申请人： EO技术有限公司

发明人： 韩裕熙 ,  弘银晶

IPC分类号： B23K26/06

CPC分类号： B23K26/0736 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0821 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50

摘要： 公开了通过一个多面反射镜提高目标处理效率的一种激光处理设备及方法。该激光处理设备包含一个激光发生器，输出具有预定直径的激光束；一个多面反射镜，具有多个反射面，绕一个轴旋转，以反射来自激光发生器的入射到反射面上的激光束，其中设置反射面的数量使得激光束可以覆盖多面反射镜的至少两个反射面；以及一个透镜，使从多面反射镜反射的激光束会聚和照射。根据本发明，通过将激光束分成多个入射到多面反射镜的反射面，并且借助于分开的激光束以低能量反复处理目标，能够提高目标的处理效率和产品产量。