发明公开
- 专利标题： 结晶设备、结晶方法、器件、光学调制元件和显示装置
- 专利标题（英）： Crystallization apparatus, crystallization method, device, optical modulation element, and display apparatus
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申请号： CN200510062668.X申请日： 2005-03-31
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公开(公告)号： CN1691275A公开(公告)日： 2005-11-02
- 发明人: 谷口幸夫 , 十文字正之 , 小川裕之
- 申请人： 株式会社液晶先端技术开发中心
- 申请人地址： 日本神奈川县
- 专利权人： 株式会社液晶先端技术开发中心
- 当前专利权人： 株式会社液晶先端技术开发中心
- 当前专利权人地址： 日本神奈川县
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 韩宏
- 优先权： 103373/2004 2004.03.31 JP
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00 ; H01L21/268 ; B23K26/00 ; G02F1/136
摘要：
第一光学调制元件用光束照射非单晶物质，由此熔化该物质，其中所述光束将具有通过调制入射的第一光束的强度而获得的在非单晶物质上的第一光强分布。第二光学调制元件用光束照射该物质，由此熔化该物质，其中所述光束将具有通过调制入射的第二光束的强度而获得的在该物质上的第二光强分布。在通过照射具有第一光强分布的光束而部分地熔化该物质的期间，照明系统使具有第二光强分布的光束进入该物质的熔化部分。
IPC分类:
