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CN1718853A 金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备方法 有权 转让

金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备方法
摘要：
一种机械制造领域的金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备方法，采用基体表面去钴和粗化、脱碳和还原处理、反应气体中添加粘结促进剂预处理，通过控制CVD涂层工艺参数，金刚石沉积初期，在硬质合金衬底上以提高成核密度为主；在金刚石生长中间阶段，以生长 、 晶粒取向的涂层质量好、附着力强的金刚石多晶膜为主；金刚石沉积后期，通过降低反应气体压力、增加碳源浓度、在反应系统中通入氮气，在金刚石多晶膜上再原位生长一层由超细微晶聚集而成的球状金刚石晶粒薄膜，获得光滑金刚石薄膜，将该金刚石薄膜涂层支撑块粘接在粘结在钢支架上制成金刚石薄膜涂层轴承支撑器。本发明轴承支撑器寿命长，耐用度高，停机次数和生产辅助时间显著减少。
摘要（英）：

A process for preparing the bearing holder with coated diamond film layer includes such steps as removing Co from the surface of hard alloy substrate, roughing, decarbonizing, reducing, adding adhesion promoter to reacting gas, preparing the diamond film by CVD process while controlling its technological parameters by 3 stages to sequentially generate high-density layer, polycrystal layer and superfine micro crystal layer, and adhering said substrate onto the surface of steel holder.

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