每一存储单元电荷存储元件具有双重控制栅极的闪速存储单元阵列
摘要:
本发明揭示一种闪速NAND型EEPROM系统,其中一电荷存储元件(例如浮动栅极)阵列中的各单独电荷存储元件与至少两条控制栅极线电容性耦合。所述控制栅极线较佳定位于浮动栅极之间以便与浮动栅极的侧壁耦合。结果,存储单元耦合比合乎期望地增大。一所选行的浮动栅极的相对侧上的两条控制栅极线通常被升高至相同电压,同时耦合至紧邻所选行并位于所选行的相对侧上的未选行的浮动栅极的第二控制栅极线则保持低电压。为选择性地在所选浮动栅极的区域中升高衬底电压,控制栅极线也可与衬底电容性耦合。可通过形成一间隔层蚀刻掩膜使浮动栅极的长度及控制栅极线的厚度小于工艺的最小分辨元件。
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