发明公开
CN1724706A 提高氟利用率的方法
无效 - 撤回
- 专利标题： 提高氟利用率的方法
- 专利标题（英）： Method for enhancing fluorine utilization
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申请号： CN200510084956.5申请日： 2005-07-25
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公开(公告)号： CN1724706A公开(公告)日： 2006-01-25
- 发明人: 吴定军 , 齐宾 , E·J·小卡瓦基
- 申请人： 气体产品与化学公司
- 申请人地址： 美国宾夕法尼亚州
- 专利权人： 气体产品与化学公司
- 当前专利权人： 气体产品与化学公司
- 当前专利权人地址： 美国宾夕法尼亚州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 韦欣华; 段晓玲
- 优先权： 10/897811 2004.07.23 US
- 主分类号： C23F1/12
- IPC分类号： C23F1/12
摘要：
本文公开了用于提高工艺气氟利用率的方法，其被用于从基板上去除不期望的物质。在一个实施方案中，提供了提高包括氟源的工艺气的氟利用率的方法，该方法包括：向工艺气中添加足够量的氢源，以获得氢源对氟源的摩尔比为约0.01－0.99。
IPC分类:
