在具备基体及形成于该基体上的半导体膜的薄膜半导体装置中，在所述基体上设有内部电路(主电路部)(17)，保护电路部(18)、端子部(19)。在所述保护电路部(18)上，设有保护电路元件(181，182)，其具有所述半导体膜的PIN二极管，以及介于该PIN二极管的I层和绝缘膜对向配置的浮置电极。能够提供一种可构成可对内部电路良好保护免受浪涌电压影响的保护电路，对于因过大电压而被破坏时电路结构不产生故障，且具有优良的可靠性的电路元件的薄膜半导体装置。