有机物蒸镀装置
摘要:
一种有机物蒸镀装置,以将衬底大致垂直竖起的状态蒸镀有机物,形成有机薄膜,可适用于大型衬底,且可形成均匀厚度的有机薄膜。本发明的有机物蒸镀装置具有:腔,其构成壳体并且使衬底维持在相对于地面成70°~110°的角度;有机物存储部,其由接收向上述衬底上蒸镀的有机物的至少一个有机物存储位置构成;有机物喷嘴部,其喷射向上述衬底上蒸镀的有机物;连接线路,其将上述有机物喷嘴部和有机物存储部连接;运送装置,其可使上述有机物存储部、有机物喷嘴部及连接线中的至少上述有机物喷嘴沿垂直方向移动。
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