发明公开
- 专利标题: 有机物蒸镀装置
- 专利标题(英): Organic matter vaporization plating device
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申请号: CN200510096608.X申请日: 2005-08-25
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公开(公告)号: CN1743495A公开(公告)日: 2006-03-08
- 发明人: 宋官燮 , 金度根 , 安宰弘 , 康熙哲 , 郑锡宪
- 申请人: 三星SDI株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星SDI株式会社
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 李贵亮; 杨梧
- 优先权: 67259/04 2004.08.25 KR; 84884/04 2004.10.22 KR
- 主分类号: C23C14/12
- IPC分类号: C23C14/12 ; C23C14/24
摘要:
一种有机物蒸镀装置,以将衬底大致垂直竖起的状态蒸镀有机物,形成有机薄膜,可适用于大型衬底,且可形成均匀厚度的有机薄膜。本发明的有机物蒸镀装置具有:腔,其构成壳体并且使衬底维持在相对于地面成70°~110°的角度;有机物存储部,其由接收向上述衬底上蒸镀的有机物的至少一个有机物存储位置构成;有机物喷嘴部,其喷射向上述衬底上蒸镀的有机物;连接线路,其将上述有机物喷嘴部和有机物存储部连接;运送装置,其可使上述有机物存储部、有机物喷嘴部及连接线中的至少上述有机物喷嘴沿垂直方向移动。
公开/授权文献
- CN1743495B 有机物蒸镀装置 公开/授权日:2011-09-14
IPC分类: