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公开(公告)号：CN1824825A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200610000428.1
申请日：2006-01-05
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C23C14/04 , C23C16/04 , H01L21/203 , H01L21/205
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/0011 , Y10T29/49867
Abstract: 公开的是一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括要附着到罩板框的附着部分，以及在其中形成图案的图案区域。该方法包括：将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到罩板片和辅助片；并在罩板片的图案区域上形成图案。这样，当均匀分布的外力被施加到罩板片上时，就会在罩板片上形成预定的图案，因此可以防止罩板片的弯曲或偏离平面，从而形成精确的罩板图案。
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公开(公告)号：CN1743495A
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN200510096608.X
申请日：2005-08-25
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 一种有机物蒸镀装置，以将衬底大致垂直竖起的状态蒸镀有机物，形成有机薄膜，可适用于大型衬底，且可形成均匀厚度的有机薄膜。本发明的有机物蒸镀装置具有：腔，其构成壳体并且使衬底维持在相对于地面成70°～110°的角度；有机物存储部，其由接收向上述衬底上蒸镀的有机物的至少一个有机物存储位置构成；有机物喷嘴部，其喷射向上述衬底上蒸镀的有机物；连接线路，其将上述有机物喷嘴部和有机物存储部连接；运送装置，其可使上述有机物存储部、有机物喷嘴部及连接线中的至少上述有机物喷嘴沿垂直方向移动。
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公开(公告)号：CN1925127A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610112369.7
申请日：2006-08-31
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L51/56 , C23C14/50 , C23C16/458
CPC classification number: C23C14/50 , C23C14/042 , H01L51/0008 , H01L51/0097 , H01L51/56 , H01L2251/5338
Abstract: 本发明公开一种用于制造柔性显示器的膜盘，该膜盘可以避免柔性基板或膜下沉。所述膜盘包括支撑板和至少一对夹钳，至少一对夹钳中的每个夹钳沿着支撑板的相对边缘设置以固定柔性介质。至少一对夹钳中的第一夹钳和至少一对夹钳中的第二夹钳对准。每个夹钳都包括适于打开以容纳柔性基板或膜并适于关闭以固定柔性基板或膜的开关部分，以及与该开关部分分开有预定距离以当开关部分关闭时将柔性基板或膜支持在预定高度的支撑部分。
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公开(公告)号：CN100456446C
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200610106277.8
申请日：2006-07-17
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/687
CPC classification number: C23C14/50 , C23C14/042 , H01L51/56
Abstract: 一种用于制造有机发光显示器的夹持器，包括夹持器主体和设置在夹持器主体的相对的侧面上的多个支撑体，其中，各支撑体具有“┐”形的形状，并包括具有预定高度的侧壁和从侧壁弯曲的支撑板。支撑板被形成为具有多个台阶部分，以支撑基底、膜托盘和掩模，以在传送基底、模托盘和掩膜的同时夹持基底、模托盘和掩模，并防止图案扭曲，从而同时在单个室中传送并加工基底、膜托盘和掩模。
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公开(公告)号：CN1924080A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610127710.6
申请日：2006-08-30
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/26
Abstract: 本发明公开一种加热器和一种具有该加热器的汽相沉积源，通过确保熔化罐的温度均匀性，能够在板上镀均匀厚度的材料。该加热器设置在一个沉积装置的熔化罐的上侧或下侧至少之一上，用于加热所述熔化罐。该加热器包括复数个有不均匀的节距的弯曲。该加热器中心部分的节距比在所述加热器两个边缘部分处的节距大。这样，所述复数个有不均匀节距的弯曲可降低加热器的中心部分与加热器的边缘部分之间的温度差，从而使镀料蒸发均匀，进而使镀料的厚度均匀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1901155A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200610106277.8
申请日：2006-07-17
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/687
CPC classification number: C23C14/50 , C23C14/042 , H01L51/56
Abstract: 一种用于制造有机发光显示器的夹持器，包括夹持器主体和设置在夹持器主体的相对的侧面上的多个支撑体，其中，各支撑体具有“┓”形的形状，并包括具有预定高度的侧壁和从侧壁弯曲的支撑板。支撑板被形成为具有多个台阶部分，以支撑基底、膜托盘和掩模，以在传送基底、模托盘和掩膜的同时夹持基底、模托盘和掩模，并防止图案扭曲，从而同时在单个室中传送并加工基底、膜托盘和掩模。
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公开(公告)号：CN1824824A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200510137658.8
申请日：2005-12-31
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C23C14/04 , C23C16/04 , H01L21/203 , H01L21/205
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/0011
Abstract: 本发明提供了一种掩模框，具有图案区域和限定图案区域的掩模边缘的掩模固定在该掩模框上，该掩模框包括：通口，与图案区域对应；基底，与掩模边缘对应。基底设置有在其内形成的排放孔，真空泵与排放孔结合，从而使掩模固定到掩模框而没有损坏形成在掩模的图案区域上的图案。
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公开(公告)号：CN100454514C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200610112369.7
申请日：2006-08-31
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L51/56 , C23C14/50 , C23C16/458
CPC classification number: C23C14/50 , C23C14/042 , H01L51/0008 , H01L51/0097 , H01L51/56 , H01L2251/5338
Abstract: 本发明公开一种用于制造柔性显示器的膜盘，该膜盘可以避免柔性基板或膜下沉。所述膜盘包括支撑板和至少一对夹钳，至少一对夹钳中的每个夹钳沿着支撑板的相对边缘设置以固定柔性介质。至少一对夹钳中的第一夹钳和至少一对夹钳中的第二夹钳对准。每个夹钳都包括适于打开以容纳柔性基板或膜并适于关闭以固定柔性基板或膜的开关部分，以及与该开关部分分开有预定距离以当开关部分关闭时将柔性基板或膜支持在预定高度的支撑部分。
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公开(公告)号：CN100419955C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200610108939.5
申请日：2006-07-28
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/5246 , H01L51/524 , Y10S269/90
Abstract: 本发明公开了一种用于制造有机发光显示器的基底支撑板转移装置。在一个实施例中，该装置包括：石英板，被移入用于有机发光显示装置的结合处理室中；保护框，石英板置于其上，以将石英板移入室中；框形的支撑板，包括用于帮助转移保护框的滑动转移装置并被安装在室中。石英板具有能够承受在结合工艺中施加到大尺寸基底的压力的刚性，该装置为更换石英板提供了方便。
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公开(公告)号：CN1945794A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200610162739.8
申请日：2006-09-11
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: B32B37/10 , B32B37/1009 , B32B2457/206 , H01L21/187 , H01L21/50 , H01L51/524 , H01L51/5243 , H01L51/5259 , H01L51/56 , H01L2924/3025
Abstract: 本发明公开了一种基板粘结设备和基板粘结方法，当粘结上基板和下基板时，该基板粘结设备和基板粘结方法根据上基板和下基板的尺寸来施加压力。该设备包括：上按压单元，其具有用以按压上基板的上板和用以驱动所述上板以按压所述上基板的第一按压器；以及设置在上按压单元下面的下按压单元，其具有用以支撑并按压下基板以将其固定到上基板的下板、和用以驱动所述下板以按压所述下基板的第二按压器。该设备可用于粘结各种尺寸基板，例如，当粘结相对大尺寸的基板时，向上按压下基板，而上基板不会下垂，当粘结相对小尺寸的基板时，使用气体按压上基板。
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