公开一种利用高精确机器视觉计量术过滤图像的结构形态过滤方法，它利用专门确定的结构单元精确地保存过滤图像中具体特征的位置。选取的结构单元形状通常有与过滤图像中被保存的至少部分特征几何相似性。结构单元的取向对应于被检查特征的取向。例如，对于被检查的直线特征，最佳结构单元是相同取向的直线或狭窄矩形，而对于被检查的圆形图像，最佳结构单元是圆形。基于自动确定被检查特征的取向，在一组自动检查操作期间可以自动确定或调整结构单元的取向。