发明授权
- 专利标题: 晶棒的切割方法及其装置
- 专利标题(英): Apparatus and method for slicing an ingot
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申请号: CN200510115239.4申请日: 2005-11-11
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公开(公告)号: CN1788965B公开(公告)日: 2011-08-24
- 发明人: 池恩相 , 李劲武
- 申请人: 希特隆股份有限公司
- 申请人地址: 韩国庆尚北道
- 专利权人: 希特隆股份有限公司
- 当前专利权人: 希特隆股份有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国庆尚北道
- 代理机构: 北京金信立方知识产权代理有限公司
- 代理商 黄威; 张金海
- 优先权: 10-2004-0096218 2004.11.23 KR
- 主分类号: B28D5/04
- IPC分类号: B28D5/04 ; H01L21/304
摘要:
本发明的晶棒的切割方法及其装置,用于改善所切割晶片表面的纳米形貌,其向金属丝供给切割液的同时移动金属丝,并通过切割液将所送进的晶棒切成若干晶片,随后进入研磨、蚀刻、抛光等工序。本发明的晶棒的切割方法包括第一切片阶段,其利用小直径第一金属丝切割晶棒的一侧,以在晶片上形成第一切片部;及第二切片阶段,其利用直径大于第一金属丝直径的第二金属丝切割晶棒的剩余部分,以在所述晶片上形成连续于第一切片部的第二切片部。
公开/授权文献
- CN1788965A 晶棒的切割方法及其装置 公开/授权日:2006-06-21