晶棒的切割方法及其装置
摘要:
本发明的晶棒的切割方法及其装置,用于改善所切割晶片表面的纳米形貌,其向金属丝供给切割液的同时移动金属丝,并通过切割液将所送进的晶棒切成若干晶片,随后进入研磨、蚀刻、抛光等工序。本发明的晶棒的切割方法包括第一切片阶段,其利用小直径第一金属丝切割晶棒的一侧,以在晶片上形成第一切片部;及第二切片阶段,其利用直径大于第一金属丝直径的第二金属丝切割晶棒的剩余部分,以在所述晶片上形成连续于第一切片部的第二切片部。
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