一种图像检查装置。在图像检查装置中，即使被检查体的种类或制造工序等发生变化，也能够将自动聚焦的对焦位置校正为恰当的位置，可提高检查效率。为进行自动聚焦，从对焦位置检测部(102)通过颜色校正单元(103)、物镜(11)，将检测光(70)照射到基板(1)上，通过由光检测器(36)检测该反射光的位置，而检测出第1目标对焦位置。另一方面，在存储于存储部(3)中的明细中，存储有使第1目标对焦位置偏移的偏移值。并且，根据偏移值而移动颜色校正透镜组(31)的位置，设定到第2目标对焦位置，朝着该处驱动试样移动台(17)。