发明公开
CN1806216A 相对压力控制系统和相对流量控制系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 相对压力控制系统和相对流量控制系统
- 专利标题(英): Relative pressure control system and relative flow control system
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申请号: CN200480016146.X申请日: 2004-06-04
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公开(公告)号: CN1806216A公开(公告)日: 2006-07-19
- 发明人: 河野哲儿郎 , 土居广树 , 伊藤稔 , 长冈秀树 , 伊藤惠贵 , 远藤宏纪 , 岛津强 , 广濑润 , 胜又治 , 三浦和幸 , 北泽贵
- 申请人: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 喜开理株式会社,东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人: 喜开理株式会社,东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 陆锦华; 樊卫民
- 优先权: 163948/2003 2003.06.09 JP
- 国际申请: PCT/JP2004/007819 2004.06.04
- 国际公布: WO2004/109420 JA 2004.12.16
- 进入国家日期: 2005-12-09
- 主分类号: G05D16/20
- IPC分类号: G05D16/20
摘要:
一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比,并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59),调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度,按规定的分压比输出作用气体。
公开/授权文献
- CN100454200C 相对压力控制系统和相对流量控制系统 公开/授权日:2009-01-21