公开(公告)号：CN100454200C

公开(公告)日：2009-01-21

申请号：CN200480016146.X

申请日：2004-06-04

申请人： 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

发明人： 河野哲儿郎 ,  土居广树 ,  伊藤稔 ,  长冈秀树 ,  伊藤惠贵 ,  远藤宏纪 ,  岛津强 ,  广濑润 ,  胜又治 ,  三浦和幸 ,  北泽贵

IPC分类号： G05D16/20

CPC分类号： G05D16/206 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87877

摘要： 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。

公开(公告)号：CN1806216A

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN200480016146.X

申请日：2004-06-04

申请人： 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

发明人： 河野哲儿郎 ,  土居广树 ,  伊藤稔 ,  长冈秀树 ,  伊藤惠贵 ,  远藤宏纪 ,  岛津强 ,  广濑润 ,  胜又治 ,  三浦和幸 ,  北泽贵

IPC分类号： G05D16/20

CPC分类号： G05D16/206 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87877

摘要： 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。