发明公开

量子隧道效应传感装置
摘要:
一种单块的微米或纳米的机电传感装置,包括一对分别安装一个或多个伸长的导电体(40)的基片(20,25);和弹性固态铰链装置(30,32),该装置与基片结合并连接基片以相对地定位基片,以致于基片的各伸长的导电体(40)以一定的间隔被对置,该间隔在跨过导体应用合适的电位差时允许导体之间可探测的量子隧道效应电流。固态铰链装置允许基片相对于伸长的导电体基片横向平行移动。
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