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公开(公告)号：CN101183568B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200710301961.6
申请日：2007-12-24
摘要： 本发明涉及一种用于扫描力显微镜上安装悬臂梁探针的卡具。卡具由楔形块、磁铁、卡具主体和紧固小螺栓组成，卡具主体的下半部为筒体，下半部的一侧带有凸耳，凸耳上开有至筒体内壁的开口槽，开口槽将凸耳分为两片，一片上开螺纹孔，另一片上开光孔；卡具主体的上半部在带有凸耳一侧的内圆中设置半圆形平台，半圆形平台自圆心径向开有凹槽，半圆形平台的底部开有中心对称并与楔形块宽度和楔形块上底边厚度相同的通槽，通槽中嵌入楔形块；卡具主体上半部与下半部接壤处的外缘上沿凸耳向卡具主体中心开狭槽。该卡具安装到扫描力显微镜的扫描器上时定位准确、长期频繁使用可靠性和重复性好，悬臂梁探针容易更换并能够沿悬臂梁方向前后位置可调。
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公开(公告)号：CN101576466B
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200910085101.2
申请日：2009-05-31
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种组合式三维高速扫描装置，该装置主要包括三维扫描器和高速一维扫描器，当样品台固定在高速一维扫描器上时，所述的高速一维扫描器通过固定底座安装在三维扫描器上，高速一维扫描器带动样品台与三维扫描器一起实现三维高速扫描；当样品台固定在三维扫描器上时，所述的高速一维扫描器固定在探针固定架上，高速一维扫描器带动探针与三维扫描器一起实现三维高速扫描。本发明具有扫描速度非常高(视频扫描速度)、扫描范围大，结构简单，使用简便、成本低廉；抗干扰能力强，能够很好地实现SPM高速成像。
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公开(公告)号：CN101601100A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200780045194.5
申请日：2007-10-31
申请人： 因菲尼泰西马有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于扫描探针显微镜中的探针组件。所述探针组件包括具有一组至少三个基本相同的探针的托架，每个探针具有位于该组探针末端所共有的平面上、并且可移动离开该平面的末端。所述组件还包括寻址装置，该寻址装置适于选择该组探针中的一个探针以用于相对于探针中的大多数其余探针的相对移动。这样的组件具有便于快速地、可能自动地替换使用过的探针的潜力，适合用于高速扫描设备中。
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公开(公告)号：CN101322196A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200680045621.5
申请日：2006-10-17
申请人： 艾-曼垂克斯有限责任公司
CPC分类号： G01P15/0894
摘要： 一种微动测量装置具有第一个元件，例如探针尖端或平板，被连接到将被测量其移动的测试体(107)。第二个元件(104)位于邻近所述第一个元件的位置，来在它们之间形成间隙(108)。因为所述测试体和所述第一个元件逐渐远离所述测量元件，所以增加了所述间隙的大小，所述第二个元件重复地向前移动，来将所述间隙恢复到其原来大小。所述测量元件(104)的这些重复的量子化的微小移动被计算，并且被用来提供所述测试体(107)已经移动的距离的指示。在另外的实施方式中，所述第一个元件可以逐渐朝着所述第二个元件移动，同时后者重复地远离。
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公开(公告)号：CN101303903A
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200810116122.1
申请日：2008-07-03
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种微小型原子力显微镜的驱动装置，由弹簧基板、线圈基座、三个隔板和上下盖板组成；上盖板与下盖板之间从上至下设有A隔板、弹簧基板、B隔板、C隔板、线圈基座。本发明驱动装置通过长螺钉的一端分别穿过A通孔、B通孔、C通孔、D通孔、E通孔后与螺母螺纹连接来实现将A隔板、弹簧基板、B隔板、C隔板、线圈基座固定夹紧在上盖板与下盖板之间。本发明的驱动装置是一种体积小、重量轻、扫描范围大的原子力显微镜的全新的驱动机构，当给电流线圈通电时，电流线圈的磁场和永磁体的磁场的将发生吸引或排斥作用而产生振动运动，从而达到三维驱动的效果。
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公开(公告)号：CN101226125A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200710191138.4
申请日：2007-12-10
申请人： 中国科学技术大学
发明人： 陆轻铀
摘要： 无摩擦惯性步进扫描器特征是拉力器将压片拉向基座，XYZ压电扫描管的一端固定于基座，另一端托住压片并与之产生压力。工作时，施加Z伸长信号和缓慢的XY信号，之后将这两个信号快速回撤使得XY回移过程发生在Z回缩过程之内并使得压片的Z方向惯性力将其XY方向的摩擦力减为零。照此重复产生XY方向步进且无摩擦力干扰，大范围步进定位精度很高，又保留了小范围扫描、定位功能。引入两个独立的Z定位器来调节双探针与样品的间距后，使用无摩擦惯性步进扫描器可将样品上第一个探针的测量点精确送达第二个探针扫描范围之内，实现同点扫描双探针显微镜。其给出的数据更全面、可靠，意义更广、更深。
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公开(公告)号：CN101650978B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200910144969.5
申请日：2009-09-16
申请人： 中国科学技术大学
摘要： 本发明涉及用于扫描探针显微镜的纳米扫描台，其包括安装于矩形底板上的扫描台支架，纳米扫描台内设有柔性铰链；柔性铰链为四棱短管状，其每一侧壁均为由内侧壁和外侧壁组成的夹层薄壁，每一侧外侧壁均通过细杆连接着内套筒外端，内套筒内侧连接着压电陶瓷管，压电陶瓷管的另一端连接着外套筒内侧，外套筒的外端连接着扫描台支架，且四根压电陶瓷管均布在扫描台的两个对角线方向的四个角处；柔性铰链的轴向顶面连接着样品台。本发明不但保留了传统结构中径向(XY方向)的大扫描范围，更扩大了轴向(Z向)的移动范围；其结构简单，体积小，易于封装；同时也能用于各种需要纳米级位移的系统中。
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公开(公告)号：CN101303903B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810116122.1
申请日：2008-07-03
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种微小型原子力显微镜的驱动装置，由弹簧基板、线圈基座、三个隔板和上下盖板组成；上盖板与下盖板之间从上至下设有A隔板、弹簧基板、B隔板、C隔板、线圈基座。本发明驱动装置通过长螺钉的一端分别穿过A通孔、B通孔、C通孔、D通孔、E通孔后与螺母螺纹连接来实现将A隔板、弹簧基板、B隔板、C隔板、线圈基座固定夹紧在上盖板与下盖板之间。本发明的驱动装置是一种体积小、重量轻、扫描范围大的原子力显微镜的全新的驱动机构，当给电流线圈通电时，电流线圈的磁场和永磁体的磁场的将发生吸引或排斥作用而产生振动运动，从而达到三维驱动的效果。
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公开(公告)号：CN101576466A
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200910085101.2
申请日：2009-05-31
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种组合式三维高速扫描装置，该装置主要包括三维扫描器和高速一维扫描器，当样品台固定在高速一维扫描器上时，所述的高速一维扫描器通过固定底座安装在三维扫描器上，高速一维扫描器带动样品台与三维扫描器一起实现三维高速扫描；当样品台固定在三维扫描器上时，所述的高速一维扫描器固定在探针固定架上，高速一维扫描器带动探针与三维扫描器一起实现三维高速扫描。本发明具有扫描速度非常高(视频扫描速度)、扫描范围大，结构简单，使用简便、成本低廉；抗干扰能力强，能够很好地实现SPM高速成像。
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公开(公告)号：CN101326433A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200680046323.8
申请日：2006-06-30
申请人： JPK器具股份有限公司
发明人： 托尔斯滕·扬克
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/025 , G01Q30/06
摘要： 本发明涉及一种用于检测被测物品(2、12)的方法，其中借助扫描探针测量装置的测量探针(10)，利用扫描探针显微术来检测被测物品(2、12)，以及其中在配属于光学测量系统的观察区域内，利用光学测量系统光学地检测被测物品(2、12)的至少一个部分(1)，其中，由于扫描探针显微术检测而引起的被测物品(2、12)的至少一个部分(1)的从观察区域中出来的位置移动，可这样进行修正，使得被测物品(2、12)的至少一个位置移动的部分(1)借助再调节装置再次设置在观察区域中，所述再调节装置对表征位置移动的数据信号进行处理。
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