发明公开
- 专利标题： TFT阵列面板及其制造方法
- 专利标题（英）： Tft array panel and fabricating method thereof
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申请号： CN200510130269.2申请日： 2005-12-12
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公开(公告)号： CN1812109A公开(公告)日： 2006-08-02
- 发明人: 裴良浩 , 李制勋 , 赵范锡 , 郑敞午
- 申请人： 三星电子株式会社
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 李伟
- 优先权： 10－2005－0001797 2005.01.07 KR
- 主分类号： H01L27/12
- IPC分类号： H01L27/12 ; H01L23/52 ; H01L21/84 ; H01L21/768 ; G02F1/13
摘要：
本发明公开了一种TFT阵列面板，包括：下部铝层；氮化铝层，形成于下部铝层上；以及上部铝层，形成于氮化铝层上。这种包括铝布线的TFT阵列面板减少乃至防止形成可能引起短路的小丘。本发明还公开了一种制造这种TFT阵列面板的方法。
公开/授权文献
- CN100446260C TFT阵列面板及其制造方法 公开/授权日：2008-12-24