- 专利标题: 一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法
- 专利标题(英): Acid corrosion solution for preparing multicrystal silicon pile surface and its using method
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申请号: CN200610065676.4申请日: 2006-03-21
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公开(公告)号: CN1821446A公开(公告)日: 2006-08-23
- 发明人: 季静佳 , 覃榆森 , 施正荣
- 申请人: 无锡尚德太阳能电力有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号
- 专利权人: 无锡尚德太阳能电力有限公司
- 当前专利权人: 无锡尚德太阳能电力有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号
- 代理机构: 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
- 代理商 尹振启
- 主分类号: C23F1/24
- IPC分类号: C23F1/24 ; H01L21/461
摘要:
本发明公开了一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法,所述溶液为由氧化剂和氢氟酸溶液混合制成,所述氧化剂为硝酸盐或亚硝酸盐。所述使用方法具体为:将切割成的多晶硅片放入酸腐蚀溶液中进行腐蚀反应,反应时间为30秒-20分钟,酸腐蚀溶液的温度为-10℃-25℃,所述反应时间、酸腐蚀溶液的温度与酸腐蚀溶液中氧化剂和氢氟酸的浓度相协调,以达到去除由线切割多晶硅而产生的损伤层的目的。采用本发明酸腐蚀溶液进行多晶硅绒面的制备,既适用于间隙操作的大规模生产,也适用于连续操作的大规模生产,同时生产中产生的废酸很容易处理。
公开/授权文献
- CN100467670C 一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法 公开/授权日:2009-03-11
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