一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法
摘要:
本发明公开了一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法,所述溶液为由氧化剂和氢氟酸溶液混合制成,所述氧化剂为硝酸盐或亚硝酸盐。所述使用方法具体为:将切割成的多晶硅片放入酸腐蚀溶液中进行腐蚀反应,反应时间为30秒-20分钟,酸腐蚀溶液的温度为-10℃-25℃,所述反应时间、酸腐蚀溶液的温度与酸腐蚀溶液中氧化剂和氢氟酸的浓度相协调,以达到去除由线切割多晶硅而产生的损伤层的目的。采用本发明酸腐蚀溶液进行多晶硅绒面的制备,既适用于间隙操作的大规模生产,也适用于连续操作的大规模生产,同时生产中产生的废酸很容易处理。
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