发明授权
CN1828310B 加速度传感器芯片
失效 - 权利终止
- 专利标题: 加速度传感器芯片
- 专利标题(英): Acceleration sensor chip
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申请号: CN200510137781.X申请日: 2005-12-28
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公开(公告)号: CN1828310B公开(公告)日: 2010-08-18
- 发明人: 坂元明广
- 申请人: 冲电气工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 冲电气工业株式会社
- 当前专利权人: 冲电气工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 何腾云
- 优先权: 2005-057312 2005.03.02 JP
- 主分类号: G01P15/09
- IPC分类号: G01P15/09
摘要:
提供在组件内容易进行布局,并且检测灵敏度良好的加速度传感器芯片。加速度传感器芯片(10)具有:框架部(12)、可动构造体(14)和多个限制器(19),框架部(12)具有框架体部(12c)和突起部(12d),可动构造体(14)具有被共计四个梁部(16)可动地支撑的中心压铁部(14a)和四个长方体状的突出压铁部(14b),多个限制器(19)不与突出压铁部接触,延伸设置在该突出压铁部上。
公开/授权文献
- CN1828310A 加速度传感器芯片 公开/授权日:2006-09-06
IPC分类: