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公开(公告)号:CN1828310B
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN200510137781.X
申请日:2005-12-28
申请人: 冲电气工业株式会社
发明人: 坂元明广
IPC分类号: G01P15/09
CPC分类号: G01P15/123 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
摘要: 提供在组件内容易进行布局,并且检测灵敏度良好的加速度传感器芯片。加速度传感器芯片(10)具有:框架部(12)、可动构造体(14)和多个限制器(19),框架部(12)具有框架体部(12c)和突起部(12d),可动构造体(14)具有被共计四个梁部(16)可动地支撑的中心压铁部(14a)和四个长方体状的突出压铁部(14b),多个限制器(19)不与突出压铁部接触,延伸设置在该突出压铁部上。
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公开(公告)号:CN1828310A
公开(公告)日:2006-09-06
申请号:CN200510137781.X
申请日:2005-12-28
申请人: 冲电气工业株式会社
发明人: 坂元明广
IPC分类号: G01P15/09
CPC分类号: G01P15/123 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
摘要: 提供在组件内容易进行布局,并且检测灵敏度良好的加速度传感器芯片。加速度传感器芯片(10)具有:框架部(12)、可动构造体(14)和多个限制器(19),框架部(12)具有框架体部(12c)和突起部(12d),可动构造体(14)具有被共计四个梁部(16)可动地支撑的中心压铁部(14a)和四个长方体状的突出压铁部(14b),多个限制器(19)不与突出压铁部接触,延伸设置在该突出压铁部上。
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