涂料组合物和通过使用该涂料组合物制得的低介电硅质材料
摘要:
本发明提供一种涂料组合物,它能简便地制备出具有优异机械强度且同时具有稳定的非常低水平介电常数和对多种化学品有良好耐化学品性的多孔硅质膜,并提供了一种通过使用该涂料组合物制备硅质材料的方法。本发明涂料组合物含有聚烷基硅氮烷化合物、乙酰氧基硅烷化合物、有机溶剂、和(如果需要的话)成孔材料。本发明还提供了一种通过焙烧该涂料组合物制备得到的硅质材料和用于制备该硅质材料的方法。
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