发明公开
- 专利标题: 涂料组合物和通过使用该涂料组合物制得的低介电硅质材料
- 专利标题(英): Coating composition and low dielectric siliceous material produced by using same
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申请号: CN200480022974.4申请日: 2004-08-04
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公开(公告)号: CN1836017A公开(公告)日: 2006-09-20
- 发明人: 青木伦子 , 青木宏幸
- 申请人: AZ电子材料(日本)株式会社
- 申请人地址: 日本国东京都
- 专利权人: AZ电子材料(日本)株式会社
- 当前专利权人: 默克专利有限公司
- 当前专利权人地址: 日本国东京都
- 代理机构: 北京三幸商标专利事务所
- 代理商 刘激扬
- 优先权: 292529/2003 2003.08.12 JP
- 国际申请: PCT/JP2004/011135 2004.08.04
- 国际公布: WO2005/014743 JA 2005.02.17
- 进入国家日期: 2006-02-10
- 主分类号: C09D183/16
- IPC分类号: C09D183/16 ; C09D171/00 ; C09D183/04 ; C01B33/12 ; H01L21/312
摘要:
本发明提供一种涂料组合物,它能简便地制备出具有优异机械强度且同时具有稳定的非常低水平介电常数和对多种化学品有良好耐化学品性的多孔硅质膜,并提供了一种通过使用该涂料组合物制备硅质材料的方法。本发明涂料组合物含有聚烷基硅氮烷化合物、乙酰氧基硅烷化合物、有机溶剂、和(如果需要的话)成孔材料。本发明还提供了一种通过焙烧该涂料组合物制备得到的硅质材料和用于制备该硅质材料的方法。
公开/授权文献
- CN1836017B 涂料组合物和通过使用该涂料组合物制得的低介电硅质材料 公开/授权日:2011-11-02
IPC分类: