防止异物附着的表面弹性波设备的制造方法
摘要:
一种表面弹性波设备的制造方法,由于在用绝缘膜(6)将梳状电极(2)和反射器(5a、5b)的整个区域覆盖的状态下,在电极部(3a、3b)上形成导体层(4),因此在形成导体层(4)时,由绝缘膜(6)保护梳状电极(2)和反射器(5a、5b),没有异物附着在梳状电极(2)和反射器(5a、5b),性能良好。从而,提供一种廉价,且性能良好的表面弹性波设备的制造方法。
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