发明公开
CN1848675A 防止异物附着的表面弹性波设备的制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 防止异物附着的表面弹性波设备的制造方法
- 专利标题(英): Method of manufacturing surface acoustic wave device which prevents sticking of foreign matters
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申请号: CN200610073233.X申请日: 2006-04-05
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公开(公告)号: CN1848675A公开(公告)日: 2006-10-18
- 发明人: 工藤拓夫 , 池田刚 , 佐藤崇 , 尾崎恭辅 , 松尾裕 , 目黒利浩
- 申请人: 阿尔卑斯电气株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 阿尔卑斯电气株式会社
- 当前专利权人: 阿尔卑斯电气株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 刘建
- 优先权: 2005-108834 2005.04.05 JP
- 主分类号: H03H3/08
- IPC分类号: H03H3/08
摘要:
一种表面弹性波设备的制造方法,由于在用绝缘膜(6)将梳状电极(2)和反射器(5a、5b)的整个区域覆盖的状态下,在电极部(3a、3b)上形成导体层(4),因此在形成导体层(4)时,由绝缘膜(6)保护梳状电极(2)和反射器(5a、5b),没有异物附着在梳状电极(2)和反射器(5a、5b),性能良好。从而,提供一种廉价,且性能良好的表面弹性波设备的制造方法。
公开/授权文献
- CN100511985C 防止异物附着的表面弹性波设备的制造方法 公开/授权日:2009-07-08