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公开(公告)号:CN1848675A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200610073233.X
申请日:2006-04-05
申请人: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号: H03H3/08
CPC分类号: H03H9/02921 , H03H3/08 , Y10T29/42 , Y10T29/49004 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
摘要: 一种表面弹性波设备的制造方法,由于在用绝缘膜(6)将梳状电极(2)和反射器(5a、5b)的整个区域覆盖的状态下,在电极部(3a、3b)上形成导体层(4),因此在形成导体层(4)时,由绝缘膜(6)保护梳状电极(2)和反射器(5a、5b),没有异物附着在梳状电极(2)和反射器(5a、5b),性能良好。从而,提供一种廉价,且性能良好的表面弹性波设备的制造方法。
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公开(公告)号:CN100511985C
公开(公告)日:2009-07-08
申请号:CN200610073233.X
申请日:2006-04-05
申请人: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号: H03H3/08
CPC分类号: H03H9/02921 , H03H3/08 , Y10T29/42 , Y10T29/49004 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
摘要: 一种表面弹性波设备的制造方法,由于在用绝缘膜(6)将梳状电极(2)和反射器(5a、5b)的整个区域覆盖的状态下,在电极部(3a、3b)上形成导体层(4),因此在形成导体层(4)时,由绝缘膜(6)保护梳状电极(2)和反射器(5a、5b),没有异物附着在梳状电极(2)和反射器(5a、5b),性能良好。从而,提供一种廉价,且性能良好的表面弹性波设备的制造方法。
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