坐标测量仪中的误差补偿方法
摘要:
一种校准铰接式探头的方法,包括利用安装在所述铰接式探头上的工件检测探针对已知尺寸的样品进行测量的步骤,其中,所述铰接式探头处于非锁定。生成对应于所述样品测量的值和其已知尺寸之间差值的误差函数对应关系。利用非锁定的所述铰接式探头和相应所使用的修正值对后续工件进行测量。利用安装在铰接式探头上的探针对所述样品进行测量,从而确定其真实尺寸,其中,所述铰接式探头的轴处于锁定。提供一种机械锁,以锁定所述铰接式探头的轴。
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