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公开(公告)号：CN101469966B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN200910005104.0
申请日：2004-09-22
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 戴维·罗伯特·麦克默特里 , 若弗雷·麦克法兰 , 赖清河 , 斯蒂芬·詹姆斯·特鲁尔 , 尼古拉斯·约翰·韦斯顿
CPC分类号： G01B21/042 , G01B3/30 , G01B5/012 , G01B21/045
摘要： 一种校准铰接式探头的方法，包括利用安装在所述铰接式探头上的工件检测探针对已知尺寸的样品进行测量的步骤，其中，所述铰接式探头处于非锁定。生成对应于所述样品测量的值和其已知尺寸之间差值的误差函数对应关系。利用非锁定的所述铰接式探头和相应所使用的修正值对后续工件进行测量。利用安装在铰接式探头上的探针对所述样品进行测量，从而确定其真实尺寸，其中，所述铰接式探头的轴处于锁定。提供一种机械锁，以锁定所述铰接式探头的轴。
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公开(公告)号：CN101583896A
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200880002537.4
申请日：2008-01-11
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 戴维·罗伯特·麦克默特里 , 伊恩·肖恩·本内尔
摘要： 一种样品定位台(4)，其用于相对于光学检测装置(2)定位待检测的样品(8)。所述样品定位台包括：基本上平面的第一主体(18)，待检测的样品可以携带在该第一主体上；和第二主体(20)，所述第二主体通过在所述第一主体和所述第二主体之间延伸轴承(43，45，47)直接连接到所述第一主体上，所述轴承将所述第一主体相对于所述第二主体的运动限制到与所述第一主体的平面基本上平行的第一平面。还提供驱动系统，其可选择性地以第一模式和第二模式操作，在所述第二模式中，所述驱动系统比第一模式中提供对于通过施加在所述第一主体上的外力导致的第一主体和第二主体在第一平面的相对运动更小的阻力，所述驱动系统接合在所述第一模式和第二模式中。所述台还包括选择器，所述选择器可操作地将操作模式从第一模式改变成第二模式。
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公开(公告)号：CN1871666B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200480031224.3
申请日：2004-10-21
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 史蒂文·保罗·亨特 , 雨果·乔治·戴瑞克 , 戴维·罗伯特·麦克默特里
CPC分类号： G01Q70/04
摘要： 一种度量仪器，例如探针、探头、触针或者触针支臂，用于安装在坐标定位仪上。所述度量仪器至少部分地由至少一个具有较低热膨胀系数的热性能稳定的金属材料板制成，折叠所述至少一个金属材料板，从而形成三维结构。所述至少一个热性能稳定的材料板用在所述度量仪器的度量回路中。以这种方式，可以构造出轻且热性能稳定的度量仪器。
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公开(公告)号：CN1894556A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200480037599.0
申请日：2004-12-16
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 戴维·罗伯特·麦克默特里 , 若弗雷·麦克法兰 , 凯维恩·巴里·乔纳斯
IPC分类号： G01B21/04
CPC分类号： G01B21/042 , G01B21/045
摘要： 一种用坐标定位装置测量物体的方法，所述方法包括下列步骤：将物体放置在坐标定位装置的工作容积内；用工件接触探头测量所述物体，以生成所述物体的测量数据，所述测量数据是在多种探头作用力下收集的；对于所述物体表面上的至少一个位置，确定关联测量误差数据和探头作用力的函数或者查找表；对于所述物体表面上的所述至少一个位置，使用函数或者查找表来确定对应于探头作用力为零的测量数据；以及将对应于探头作用力为零的测量数据输出，作为所述物体的测量值。
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公开(公告)号：CN1871666A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200480031224.3
申请日：2004-10-21
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 史蒂文·保罗·亨特 , 雨果·乔治·戴瑞克 , 戴维·罗伯特·麦克默特里
CPC分类号： G01Q70/04
摘要： 一种度量仪器，例如探针、探头、触针或者触针支臂，用于安装在坐标定位仪上。所述度量仪器至少部分地由至少一个具有较低热膨胀系数的热性能稳定的金属材料板制成，折叠所述至少一个金属材料板，从而形成三维结构。所述至少一个热性能稳定的材料板用在所述度量仪器的度量回路中。以这种方式，可以构造出轻且热性能稳定的度量仪器。
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公开(公告)号：CN101583896B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200880002537.4
申请日：2008-01-11
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 戴维·罗伯特·麦克默特里 , 伊恩·肖恩·本内尔
摘要： 一种样品定位台(4)，其用于相对于光学检测装置(2)定位待检测的样品(8)。所述样品定位台包括：基本上平面的第一主体(18)，待检测的样品可以携带在该第一主体上；和第二主体(20)，所述第二主体通过在所述第一主体和所述第二主体之间延伸轴承(43，45，47)直接连接到所述第一主体上，所述轴承将所述第一主体相对于所述第二主体的运动限制到与所述第一主体的平面基本上平行的第一平面。还提供驱动系统，其可选择性地以第一模式和第二模式操作，在所述第二模式中，所述驱动系统比第一模式中提供对于通过施加在所述第一主体上的外力导致的第一主体和第二主体在第一平面的相对运动更小的阻力，所述驱动系统接合在所述第一模式和第二模式中。所述台还包括选择器，所述选择器可操作地将操作模式从第一模式改变成第二模式。
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公开(公告)号：CN1882821A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN200480033606.X
申请日：2004-11-15
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 戴维·罗伯特·麦克默特里 , 若弗雷·麦克法兰 , 凯维恩·巴里·乔纳斯
IPC分类号： G01B21/04
CPC分类号： G01B5/0016 , G01B21/045
摘要： 一种对使用坐标定位装置得出的测量值进行误差补偿的方法，所述坐标定位装置包括具有表面检测设备的铰接探头。所述表面检测设备在测量过程中围绕所述铰接探头的至少一个轴线进行旋转。所述方法包括以下步骤：确定整个所述装置或其部分的刚度；确定在任一特定时刻与所述铰接探头所施加负载相关的一个或多个因素，并确定所述表面检测设备处由所述负载造成的测量误差。
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公开(公告)号：CN1856690A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200480027339.5
申请日：2004-09-22
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 戴维·罗伯特·麦克默特里 , 若弗雷·麦克法兰 , 赖清河 , 斯蒂芬·詹姆斯·特鲁尔 , 尼古拉斯·约翰·韦斯顿
CPC分类号： G01B21/042 , G01B3/30 , G01B5/012 , G01B21/045
摘要： 一种校准铰接式探头的方法，包括利用安装在所述铰接式探头上的工件检测探针对已知尺寸的样品进行测量的步骤，其中，所述铰接式探头处于非锁定。生成对应于所述样品测量的值和其已知尺寸之间差值的误差函数对应关系。利用非锁定的所述铰接式探头和相应所使用的修正值对后续工件进行测量。利用安装在铰接式探头上的探针对所述样品进行测量，从而确定其真实尺寸，其中，所述铰接式探头的轴处于锁定。提供一种机械锁，以锁定所述铰接式探头的轴。
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公开(公告)号：CN101469966A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200910005104.0
申请日：2004-09-22
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 戴维·罗伯特·麦克默特里 , 若弗雷·麦克法兰 , 赖清河 , 斯蒂芬·詹姆斯·特鲁尔 , 尼古拉斯·约翰·韦斯顿
CPC分类号： G01B21/042 , G01B3/30 , G01B5/012 , G01B21/045
摘要： 一种校准铰接式探头的方法，包括利用安装在所述铰接式探头上的工件检测探针对已知尺寸的样品进行测量的步骤，其中，所述铰接式探头处于非锁定。生成对应于所述样品测量的值和其已知尺寸之间差值的误差函数对应关系。利用非锁定的所述铰接式探头和相应所使用的修正值对后续工件进行测量。利用安装在铰接式探头上的探针对所述样品进行测量，从而确定其真实尺寸，其中，所述铰接式探头的轴处于锁定。提供一种机械锁，以锁定所述铰接式探头的轴。
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公开(公告)号：CN100464156C
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200480027339.5
申请日：2004-09-22
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 戴维·罗伯特·麦克默特里 , 若弗雷·麦克法兰 , 赖清河 , 斯蒂芬·詹姆斯·特鲁尔 , 尼古拉斯·约翰·韦斯顿
CPC分类号： G01B21/042 , G01B3/30 , G01B5/012 , G01B21/045
摘要： 一种校准铰接式探头的方法，包括利用安装在所述铰接式探头上的工件检测探针对已知尺寸的样品进行测量的步骤，其中，所述铰接式探头处于非锁定。生成对应于所述样品测量的值和其已知尺寸之间差值的误差函数对应关系。利用非锁定的所述铰接式探头和相应所使用的修正值对后续工件进行测量。利用安装在铰接式探头上的探针对所述样品进行测量，从而确定其真实尺寸，其中，所述铰接式探头的轴处于锁定。提供一种机械锁，以锁定所述铰接式探头的轴。
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