发明公开
CN1860604A 键合层消失的间接键合
失效 - 权利终止
- 专利标题: 键合层消失的间接键合
- 专利标题(英): Indirect bonding with disappearance of the bonding layer
-
申请号: CN200480028279.9申请日: 2004-09-30
-
公开(公告)号: CN1860604A公开(公告)日: 2006-11-08
- 发明人: N·达瓦尔 , B·吉斯兰 , C·奥内特 , O·雷萨克 , I·凯勒富克
- 申请人: S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司
- 申请人地址: 法国贝尔尼
- 专利权人: S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司
- 当前专利权人: S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司
- 当前专利权人地址: 法国贝尔尼
- 代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 程伟
- 优先权: 03/11418 2003.09.30 FR
- 国际申请: PCT/IB2004/003324 2004.09.30
- 国际公布: WO2005/031852 EN 2005.04.07
- 进入国家日期: 2006-03-29
- 主分类号: H01L21/762
- IPC分类号: H01L21/762
摘要:
本发明提供一种制备包含支撑衬底(20)上的半导体材料薄层(2”)的结构的方法,所述薄层(2”)是由包含半导体材料上层(2)的施予衬底(10)而获得,所述方法的特征在于其包括:在所述上层(2)上形成键合层(3),所述键合层(3)的材料接受上层(2)材料的元素的扩散;清洗所述键合层(3)以控制其键合粘附;将施予衬底(10),从先前形成在上层(2)上并清洗过的键合层(3)的一侧,键合到支撑衬底(20);以及将所述元素从上层扩散到键合层中,以使键合层及所述上层中所述元素的浓度均匀化,以便构成具有所述键合层及所述上层的所述结构的薄层(2”)。
公开/授权文献
- CN100590838C 键合层消失的间接键合 公开/授权日:2010-02-17
IPC分类: