发明授权
CN1927977B 粘合片和使用该粘合片的制品的加工方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 粘合片和使用该粘合片的制品的加工方法
- 专利标题(英): Adhesive sheet and method of processing articles
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申请号: CN200610127674.3申请日: 2006-09-05
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公开(公告)号: CN1927977B公开(公告)日: 2012-05-02
- 发明人: 矢野浩平 , 赤泽光治 , 吉田良德 , 绀谷友广
- 申请人: 日东电工株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府茨木市下穗积1丁目1番2号
- 专利权人: 日东电工株式会社
- 当前专利权人: 日东电工株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府茨木市下穗积1丁目1番2号
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇
- 优先权: 2005-257680 2005.09.06 JP
- 主分类号: C09J7/02
- IPC分类号: C09J7/02 ; B29C55/00 ; B32B27/00 ; H01L21/304
摘要:
本发明提供一种粘合片及粘合片中使用的层压片,该粘合片在加工半导体晶圆等制品时使用,其在加工中不会污染或破坏半导体晶圆等,就可减小由粘合片的残留应力引起的制品翘曲、且与粘合剂层的固着性优异。本发明的粘合片依次具有基材、中间层和粘合剂层,上述中间层在23℃下的拉伸弹性模量为1MPa以上100MPa以下,该中间层由丙烯酸类聚合物组成,该丙烯酸类聚合物通过聚合包含1重量%以上20重量%以下含氮丙烯酸单体的(甲基)丙烯酸类单体混合物而形成,该丙烯酸类聚合物中分子量在10万以下的聚合物成分的含量为20重量%以下,并且上述基材包含至少一层在23℃的拉伸弹性模量为0.6GPa以上的薄膜。
公开/授权文献
- CN1927977A 粘合片和使用该粘合片的制品的加工方法 公开/授权日:2007-03-14