Invention Grant
CN1942825B 抗蚀剂组合物
失效 - 权利终止
- Patent Title: 抗蚀剂组合物
- Patent Title (English): Resist composition
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Application No.: CN200580011270.1Application Date: 2005-04-14
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Publication No.: CN1942825BPublication Date: 2010-05-12
- Inventor: 越后雅敏 , 小黑大
- Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 三菱瓦斯化学株式会社
- Current Assignee: 三菱瓦斯化学株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 北京润平知识产权代理有限公司
- Agent 周建秋; 王凤桐
- Priority: 120542/2004 2004.04.15 JP
- International Application: PCT/JP2005/007226 2005.04.14
- International Announcement: WO2005/101127 JA 2005.10.27
- Date entered country: 2006-10-13
- Main IPC: G03F7/038
- IPC: G03F7/038 ; G03F7/004 ; H01L21/027
Abstract:
一种辐射敏感性组合物,该组合物含有抗蚀剂化合物A、酸生成剂B和酸交联剂C。抗蚀剂化合物A为(a)由C5-45芳族酮或芳族醛与具有1-3个酚性羟基的C6-15化合物缩合制得的多元酚化合物,(b)分子量为300-5000。该辐射敏感性组合物是溶剂可溶性的,并显示出高敏感性、高分辨率和高耐热性。
Public/Granted literature
- CN1942825A 抗蚀剂组合物 Public/Granted day:2007-04-04
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IPC分类: