Invention Grant
CN1942825B 抗蚀剂组合物 失效 - 权利终止

抗蚀剂组合物
Abstract:
一种辐射敏感性组合物,该组合物含有抗蚀剂化合物A、酸生成剂B和酸交联剂C。抗蚀剂化合物A为(a)由C5-45芳族酮或芳族醛与具有1-3个酚性羟基的C6-15化合物缩合制得的多元酚化合物,(b)分子量为300-5000。该辐射敏感性组合物是溶剂可溶性的,并显示出高敏感性、高分辨率和高耐热性。
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