发明公开
CN1946871A 具有冷却装置的装置及冷却方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 具有冷却装置的装置及冷却方法
- 专利标题（英）： Device equipped with cooling means and cooling method
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申请号： CN200580013068.2申请日： 2005-01-24
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公开(公告)号： CN1946871A公开(公告)日： 2007-04-11
- 发明人: 泷本昌行 , 布施丰 , 阿部辰弥 , 小室弘之 , 青名端一仁
- 申请人： 株式会社昭和真空
- 申请人地址： 日本神奈川县
- 专利权人： 株式会社昭和真空
- 当前专利权人： 株式会社昭和真空
- 当前专利权人地址： 日本神奈川县
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 田军锋; 王爱华
- 优先权： 144538/2004 2004.05.14 JP
- 国际申请： PCT/JP2005/000849 2005.01.24
- 国际公布： WO2005/111258 JA 2005.11.24
- 进入国家日期： 2006-10-25
- 主分类号： C23C14/24
- IPC分类号： C23C14/24 ; F25D17/02
摘要：
在真空蒸镀等成膜中使用的真空槽的致冷剂路径的构成中，通过减少冷却管的使用量缩短施工期间，通过缩短致冷剂路径抑制致冷剂流量的下降，其中，在包括被槽壁覆盖的槽、配置在槽内部的内部机构或配置在槽外部的外部机构、和用于冷却内部机构或外部机构的至少一个以上的致冷剂路径的装置中，其构成为，致冷剂路径的至少一部分形成槽壁的一部分。
公开/授权文献
- CN1946871B 具有冷却装置的装置及冷却方法 公开/授权日：2012-06-20
IPC分类:
