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公开(公告)号：CN102024657A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010282645.0
申请日：2010-09-13
Applicant: 株式会社昭和真空
Abstract: 提供一种离子枪以及用于该离子枪的格栅。上述离子枪具备格栅更换时输出特性的可重复性、伴随温度变化的形状稳定性以及保管性良好的半管型格栅。在离子枪中，具备在内部产生等离子体的主体、用于从主体内部引出等离子体的格栅以及在与主体之间夹持格栅的框状加速电极，主体的与格栅相对的端面具有山谷状的弯曲面，格栅由平板格栅构成，在安装时与主体的接触面成为与弯曲面一致的曲面。
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公开(公告)号：CN101044260B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200580036142.2
申请日：2005-01-24
Applicant: 株式会社昭和真空
CPC classification number: C23C14/566 , C23C14/50 , H03H3/02
Abstract: 本发明提供一种薄膜形成装置，提高靶材料的利用率、生产节拍时间、维修性能以及成膜精度。所述薄膜形成装置包括：真空室；保持靶材料的溅射阴极；搭载用于堆积被溅射的靶材料的基板的搭载单元；以及搭载单元的搬运机构；在搬运机构中，按照使基板通过靶材料的前面的方式设置搬运路径，搭载单元由可连接并保持多个基板的基板托盘构成。
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公开(公告)号：CN1946870A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200580013030.5
申请日：2005-01-24
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/24 , H01J37/026 , H01J37/3053 , H01J2237/3132
Abstract: 本发明以低成本且高维护性的构成提供一种中和器，即使电极热膨胀也不会变形及破损。该中和器具有丝极、使电流流过该丝极的一对电极、及在绝缘状态下支承一对电极的基座，其中，该中和器构成为具有如下的保持装置：将一对电极和基座在相对位置至少在一方向上可以变动的状态下保持。
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公开(公告)号：CN118259057A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202311810537.X
申请日：2023-12-26
Applicant: 株式会社昭和真空
Abstract: 本发明提供一种能够准确测量电子部件的电特性的测量装置和测量方法。测量装置具有：第一腔室(20)，其具有第一空间(24)；多个接触探针(21)，其配置于第一腔室(20)的第一面，测量配置于与第一面对置的第二面的多个电子部件的电特性；切换部(40)，其具有层叠于第一腔室(20)的第一面侧的切换板(41)以及配置于该切换板(41)上的电子基板(42)，切换从多个接触探针(21)发送的信号；第二腔室(50)，其隔着切换板(41)与第一腔室(20)对置，具有第二空间(51)；以及压力调整单元(60)，其对压力进行调整以使第一空间(24)的压力与第二空间(51)的压力相等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117941252A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202280062672.8
申请日：2022-09-14
Abstract: 本发明为一种水晶器件的制造方法。本发明提供能够在不降低老化特性的情况下降低作为原材料费用的贵金属的成本的水晶器件。解决手段为：使用旋转台型溅射装置(10)，以从水晶振动片的表面起依次具有下述层的方式进行成膜，所述层为：具有基底层和金和第2金属的层；具有金和第2金属且具有50体积％以上的第2金属的层；具有金和第2金属且具有低于50体积％的第2金属的层；以及，以具有95体积％以上的金的金属进行成膜的层。
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公开(公告)号：CN113324709A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110225279.3
申请日：2021-03-01
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: G01M3/26
Abstract: 本申请提供一种不管电子部件有没有泄漏，都能够计算电子部件的泄漏量的小型且容易组装到现有装置、设计自由度高的泄漏检查方法和泄漏检查装置。在泄漏检查方法中，在比石英振子的内部压力低的压力下第1规定时间配置石英振子，获取石英振子的第1阻抗的变化ΔZd，在比石英振子的内部压力高的压力下第2规定时间配置石英振子，获取石英振子的第2阻抗的变化ΔZu，根据第1阻抗的变化ΔZd和第2阻抗的变化ΔZu求出石英振子的内部压力，计算泄漏量。
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公开(公告)号：CN103594566A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310343931.7
申请日：2013-08-08
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: H01L33/00
CPC classification number: H01L2224/48247 , H01L2224/48257 , H01L2224/49107 , H01L2224/78301 , H01L2224/85181 , H01L2224/8592 , H01L2924/00014 , H01L33/54 , H01L33/502 , H01L33/60 , H01L2933/0033 , H01L2933/0041 , H01L2933/0058
Abstract: 本发明的发光装置是具有发出蓝色光的LED元件和发出红色及绿色荧光的荧光体的白色LED发光装置。LED元件被分散有荧光体的封固树脂所封固。其周围被透明树脂所封固，具有炮弹型形状。在透明树脂的表面上形成有透明膜，该透明膜具有透光性且反射混合光中的蓝色成分的一部分。
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公开(公告)号：CN1946870B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200580013030.5
申请日：2005-01-24
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/24 , H01J37/026 , H01J37/3053 , H01J2237/3132
Abstract: 本发明以低成本且高维护性的构成提供一种中和器，即使电极热膨胀也不会变形及破损。该中和器具有丝极、使电流流过该丝极的一对电极、及在绝缘状态下支承一对电极的基座，其中，该中和器构成为具有如下的保持装置：将一对电极和基座在相对位置至少在一方向上可以变动的状态下保持。
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公开(公告)号：CN101044260A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200580036142.2
申请日：2005-01-24
Applicant: 株式会社昭和真空
CPC classification number: C23C14/566 , C23C14/50 , H03H3/02
Abstract: 本发明提供一种薄膜形成装置，提高靶材料的利用率、生产节拍时间、维修性能以及成膜精度。所述薄膜形成装置包括：真空室；保持靶材料的溅射阴极；搭载用于堆积被溅射的靶材料的基板的搭载单元；以及搭载单元的搬运机构；在搬运机构中，按照使基板通过靶材料的前面的方式设置搬运路径，搭载单元由可连接并保持多个基板的基板托盘构成。
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