非易失性存储器件及其制造方法
摘要:
提供了一种非易失性存储器件及其制造方法。该非易失性存储器件包括:在半导体衬底的预设或给定区域上顺序层叠的单元隔离图形和半导体图形;单元栅极线,在半导体图形上,并在单元隔离图形的一侧上的半导体衬底的顶表面上;多层阱绝缘层,在单元栅极线和半导体衬底以及单元栅极线和半导体图形之间;第一杂质扩散层,在单元栅极线的两侧上的半导体衬底中;以及第二杂质扩散层,在单元栅极线的两侧上的半导体图形中。
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