发明公开
- 专利标题： 一种柔性输送装置及其使用方法
- 专利标题（英）： Flexible conveying device and its using method
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申请号： CN200610145988.6申请日： 2006-11-30
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公开(公告)号： CN1970830A公开(公告)日： 2007-05-30
- 发明人: 刘阳
- 申请人： 北京实力源科技开发有限责任公司 , 刘阳
- 申请人地址： 北京市丰台区科学城邮局4分箱
- 专利权人： 北京实力源科技开发有限责任公司,刘阳
- 当前专利权人： 北京实力源科技开发有限责任公司,刘阳
- 当前专利权人地址： 北京市丰台区科学城邮局4分箱
- 代理机构： 北京中誉威圣知识产权代理有限公司
- 代理商 丛芳; 彭晓玲
- 主分类号： C23C14/56
- IPC分类号： C23C14/56
摘要：
本发明公开了一种柔性输送装置及其在连续真空镀膜中的使用方法。输送装置包括动力驱动系统、导轨和输送带，所述的导轨在真空镀膜设备的镀膜仓中是圆弧或环状形状；导轨是一种空腔设计，输送带在宽度方向上的一部分进入导轨内部，输送带外露在开口下方的另一部分用于携带工件，输送带在宽度方向保持刚性，在厚度方向上显示出柔性。本发明的输送装置可以用于立式或卧式、单层或多层，或者两个及两个以上不同功能的回转仓或直线仓的多仓不同组合形成连续生产线等多种真空镀膜设备。本发明的输送装置可以实现输送带及工件在真空镀膜设备中的交替转换，可以实现批量产品节拍式、连续化的生产，获得品质、色泽的一致性；同时生产效率高，生产成本降低。
公开/授权文献
- CN1970830B 一种柔性输送装置及使用该装置的真空镀膜设备 公开/授权日：2010-11-17
IPC分类:
