发明公开
CN1973247A 光聚合物保护层的显影剂
无效 - 撤回
- 专利标题： 光聚合物保护层的显影剂
- 专利标题（英）： Developer for a photopolymer protective layer
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申请号： CN200580016866.0申请日： 2005-05-27
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公开(公告)号： CN1973247A公开(公告)日： 2007-05-30
- 发明人: Y·H·金 , R·J·小克伦普顿
- 申请人： 纳幕尔杜邦公司
- 申请人地址： 美国特拉华州
- 专利权人： 纳幕尔杜邦公司
- 当前专利权人： 纳幕尔杜邦公司
- 当前专利权人地址： 美国特拉华州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 刘元金; 李炳爱
- 优先权： 60/575,007 2004.05.27 US
- 国际申请： PCT/US2005/018990 2005.05.27
- 国际公布： WO2005/119372 EN 2005.12.15
- 进入国家日期： 2006-11-24
- 主分类号： G03F7/32
- IPC分类号： G03F7/32 ; G03F7/00
摘要：
本发明涉及一种用来作为显影剂的组合物，该组合物含有一种表面活性剂，以改善可以含有至少50mol％含羧酸单体的光致抗蚀剂的显影。本发明也涉及使用方法。