电化学法制备多孔硅的双槽装置
摘要:
本发明涉及一种电化学法制备多孔硅的双槽装置,属于制备多孔硅的装置。该双槽装置包括槽体,在槽体内开设固定插槽,在固定插槽上插入“凹”形基板,采用螺钉将压板基板及垫板连接为一体,在由基板与压板及垫板所构成的凹形槽之间,设置一个开设多个平行腐蚀窗口的夹板,和另一个带有有鱼眼坑的多个平行的腐蚀窗口的夹板。本发明的优点在于:结构简单,操作方便;使用过程中不需要考虑硅衬底背面金属化问题,制备多孔硅工艺简单;所制得的多孔硅的孔径尺寸大小均匀,孔隙率和多孔硅层厚度均匀。
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