发明公开
- 专利标题: 记录数据生成方法、记录装置及掩模制造方法
- 专利标题(英): Recording data generation method, recording apparatus and mask manufacture method
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申请号: CN200610138143.4申请日: 2006-11-14
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公开(公告)号: CN1975764A公开(公告)日: 2007-06-06
- 发明人: 锦织均 , 田鹿博司 , 今野裕司 , 沟口佳人 , 井手大策 , 矢泽刚 , 关聪 , 吉川宏和 , 高宫英秋 , 矢野史子
- 申请人: 佳能株式会社
- 申请人地址: 日本东京都大田区下丸子3-30-2
- 专利权人: 佳能株式会社
- 当前专利权人: 佳能株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都大田区下丸子3-30-2
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 张会华
- 优先权: 2005-348248 2005.12.01 JP
- 主分类号: G06K15/10
- IPC分类号: G06K15/10
摘要:
一种记录数据生成方法、记录装置及掩模制造方法,通过用于多遍记录的掩模图形,可进行高品质记录并可进行高速记录。具体地说,通过相邻禁止交换处理,根据渐变掩模的记录率选择设置有每次扫描的代码的缓冲器的水平方向、即记录头的扫描方向上的两点,而且交换它们的代码。通过该交换,在掩模图形中除去记录允许范围的相邻。其结果,当记录头的设定驱动频率为恒定时,能够使扫描速度至少成为两倍。
公开/授权文献
- CN1975764B 记录数据生成方法、记录装置及掩模制造方法 公开/授权日:2011-11-23