微致动器和使用微致动器的数据存储设备
摘要:
本发明公开了一种具有分离的平台的微致动器以及一种采用该微致动器的数据存储设备。所述微致动器包括:支承单元;由所述支承单元弹性支承的多个平台,各个平台具有目标驱动体安装于其上的安装表面,并且各个平台布置得相互相邻;布置在多个平台之间的多个控制杆,各个控制杆具有分别连接相邻平台的两端,并且控制杆对相邻平台施加力,从而当平台之一运动时,相邻的平台在所述平台的运动方向的相反方向上运动;和分别对所述平台提供驱动力的驱动单元。
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