一种用于掩膜版的定位确认装置
摘要:
本实用新型适用于零部件对位确认装置领域,提供了一种用于掩膜版的对位确认装置,它包括定位工具和测量工具,所述定位工具和测量工具活动连接。该装置可精确测量掩膜版在工作平台上的位置是否符合设计要求,大大降低由于掩膜版位置偏移产生的废品数量,可广泛应用于掩膜版的定位确认领域之中。
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