实用新型
CN201237696Y 一种用于掩膜版的定位确认装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种用于掩膜版的定位确认装置
- 专利标题(英): Mask positioning affirmation apparatus
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申请号: CN200820212006.5申请日: 2008-09-24
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公开(公告)号: CN201237696Y公开(公告)日: 2009-05-13
- 发明人: 郝明毅
- 申请人: 清溢精密光电(深圳)有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号
- 专利权人: 清溢精密光电(深圳)有限公司
- 当前专利权人: 深圳清溢光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号
- 代理机构: 深圳中一专利商标事务所
- 代理商 张全文
- 主分类号: G03F9/00
- IPC分类号: G03F9/00 ; G03F7/20
摘要:
本实用新型适用于零部件对位确认装置领域,提供了一种用于掩膜版的对位确认装置,它包括定位工具和测量工具,所述定位工具和测量工具活动连接。该装置可精确测量掩膜版在工作平台上的位置是否符合设计要求,大大降低由于掩膜版位置偏移产生的废品数量,可广泛应用于掩膜版的定位确认领域之中。