实用新型
CN201677904U 半导体工艺中洁净室用推车
失效 - 权利终止
- 专利标题: 半导体工艺中洁净室用推车
- 专利标题(英): Cart used in clean room in semiconductor technology
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申请号: CN201020180756.6申请日: 2010-04-29
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公开(公告)号: CN201677904U公开(公告)日: 2010-12-22
- 发明人: 张子军 , 张士仁 , 吴静銮 , 方明海 , 欧玉兰
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 武汉新芯集成电路制造有限公司
- 申请人地址: 上海市张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,武汉新芯集成电路制造有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,武汉新芯集成电路制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市张江路18号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: B62B3/00
- IPC分类号: B62B3/00
摘要:
本实用新型提出一种半导体工艺中洁净室用推车,包括车身主体,所述车身主体设置有电机、电源、主动轮和可调控开关,所述电机和电源电性连接,所述主动轮通过传动装置连接于所述电机,所述可调控开关电性连接所述电机和电源。本实用新型提出的半导体工艺中洁净室用推车,其使用电力驱动推车,减轻了作业员的劳动强度并且提高了作业效率。