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实用新型
半导体工艺中洁净室用推车失效

公开(公告)号：CN201677904U

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN201020180756.6

申请日：2010-04-29

申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 武汉新芯集成电路制造有限公司

发明人： 张子军 , 张士仁 , 吴静銮 , 方明海 , 欧玉兰

IPC分类号： B62B3/00

摘要： 本实用新型提出一种半导体工艺中洁净室用推车，包括车身主体，所述车身主体设置有电机、电源、主动轮和可调控开关，所述电机和电源电性连接，所述主动轮通过传动装置连接于所述电机，所述可调控开关电性连接所述电机和电源。本实用新型提出的半导体工艺中洁净室用推车，其使用电力驱动推车，减轻了作业员的劳动强度并且提高了作业效率。