实用新型
- 专利标题: 一种带有聚焦栅极的碳纳米管场发射阵列
- 专利标题(英): Carbon nanotube field emission array with focusing grid electrode
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申请号: CN201120284219.0申请日: 2011-08-07
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公开(公告)号: CN202473820U公开(公告)日: 2012-10-03
- 发明人: 张研 , 李驰 , 戴迪尔·普里巴特
- 申请人: 张研 , 李驰
- 申请人地址: 江苏省南京市四牌楼2号显示技术研究中心101室
- 专利权人: 张研,李驰
- 当前专利权人: 上海康众光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市四牌楼2号显示技术研究中心101室
- 代理机构: 南京天翼专利代理有限责任公司
- 代理商 陈建和
- 主分类号: H01J1/304
- IPC分类号: H01J1/304
摘要:
一种带有聚焦栅极的碳纳米管场发射阵列,包括基板、位于基板上的栅极底电极,绝缘层薄膜、作为阴极的网格状碳纳米管阵列,作为栅极的点状碳纳米管阵列,网格状碳纳米管阵列阴极的底电极在绝缘层薄膜上;绝缘层薄膜位于阴极的底电极和栅极底电极之间,点状碳纳米管位于网格状碳纳米管阵列网格状孔的中心位置,点状碳纳米管与栅极底电极电学相连。本方案给碳纳米管阵列中每一个碳纳米管单元都设置一个聚焦电极,得到发射电子束束径小的场发射阴极。适用于对电子束束径要求较高的场发射器件,例如,X射线源、微波放大器、场发射扫描电子显微镜等中的电子源。