一种带有聚焦栅极的碳纳米管场发射阵列
摘要:
一种带有聚焦栅极的碳纳米管场发射阵列,包括基板、位于基板上的栅极底电极,绝缘层薄膜、作为阴极的网格状碳纳米管阵列,作为栅极的点状碳纳米管阵列,网格状碳纳米管阵列阴极的底电极在绝缘层薄膜上;绝缘层薄膜位于阴极的底电极和栅极底电极之间,点状碳纳米管位于网格状碳纳米管阵列网格状孔的中心位置,点状碳纳米管与栅极底电极电学相连。本方案给碳纳米管阵列中每一个碳纳米管单元都设置一个聚焦电极,得到发射电子束束径小的场发射阴极。适用于对电子束束径要求较高的场发射器件,例如,X射线源、微波放大器、场发射扫描电子显微镜等中的电子源。
0/0