实用新型
CN203491239U 一种用于片盒间转移硅片的装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种用于片盒间转移硅片的装置
- 专利标题(英): Device for transferring silicon chips between chip boxes
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申请号: CN201320629504.0申请日: 2013-10-12
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公开(公告)号: CN203491239U公开(公告)日: 2014-03-19
- 发明人: 付振 , 胡春辉 , 张熙 , 李姗姗
- 申请人: 英利能源(中国)有限公司
- 申请人地址: 河北省保定市朝阳北大街3399号
- 专利权人: 英利能源(中国)有限公司
- 当前专利权人: 英利能源(中国)有限公司
- 当前专利权人地址: 河北省保定市朝阳北大街3399号
- 代理机构: 北京连和连知识产权代理有限公司
- 代理商 王淑丽
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L31/18 ; H01L21/673 ; H01L21/687
摘要:
本实用新型公开了一种用于片盒间转移硅片的装置,该装置包括机架,步进电机,丝杠,丝杠螺母,气缸,吸片排和载物台,其中,丝杠设置在装置上部,丝杠与用于驱动丝杠的步进电机连接,气缸通过丝杠螺母连接在丝杠上,吸片排连接在气缸上,载物台置于装置底部。进一步地,吸片排与水平方向成3度角,载物台上表面倾斜且与水平方向成3度角,且吸片排与载物台上表面倾斜方向一致,相互平行。本实用新型提供的用于片盒间转移硅片的装置,结构简单小巧,操作方便,可以批量地在片盒间转移硅片,提高了硅片转移效率,而且使用本实用新型的装置保证了硅片整齐,降低了转移过程的破片率。
IPC分类: