一种用于片盒间转移硅片的装置
摘要:
本实用新型公开了一种用于片盒间转移硅片的装置,该装置包括机架,步进电机,丝杠,丝杠螺母,气缸,吸片排和载物台,其中,丝杠设置在装置上部,丝杠与用于驱动丝杠的步进电机连接,气缸通过丝杠螺母连接在丝杠上,吸片排连接在气缸上,载物台置于装置底部。进一步地,吸片排与水平方向成3度角,载物台上表面倾斜且与水平方向成3度角,且吸片排与载物台上表面倾斜方向一致,相互平行。本实用新型提供的用于片盒间转移硅片的装置,结构简单小巧,操作方便,可以批量地在片盒间转移硅片,提高了硅片转移效率,而且使用本实用新型的装置保证了硅片整齐,降低了转移过程的破片率。
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