反向偏压下测量短路电流衰减计算陷阱参数的装置
摘要:
本实用新型公开了一种反向偏压下测量短路电流衰减计算陷阱参数的装置,包括内设有实验平台的真空箱,实验平台上从下至上依次设置有下电极、屏蔽层、待测试样和上电极,上电极通过开关与直流充电模块连接,上电极和下电极之间还连接反向偏压下短路电流测量系统,反向偏压下短路电流测量系统包括由选择开关控制的择一导通的短路泄放自由电荷电路和脱陷电流测量电路,脱陷电流测量电路包括串联的脱陷反向偏置电压源和微电流计,微电流计的信号输出端连接计算机,计算机控制连接选择开关。本实用新型能够通过等温电流衰减理论计算得出试样不同能级分布的陷阱密度,实验结果更为准确。
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