实用新型
CN203999800U 一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置
- 专利标题(英): Device for protecting observation window of vacuum coating equipment
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申请号: CN201420403821.5申请日: 2014-07-22
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公开(公告)号: CN203999800U公开(公告)日: 2014-12-10
- 发明人: 林岚 , 邹慧慧 , 张平
- 申请人: 张平 , 台州学院
- 申请人地址: 浙江省台州市椒江区市府大道1139号
- 专利权人: 张平,台州学院
- 当前专利权人: 张平,台州学院
- 当前专利权人地址: 浙江省台州市椒江区市府大道1139号
- 主分类号: C23C14/52
- IPC分类号: C23C14/52
摘要:
本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,具体涉及一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置,包括由不锈钢薄板卷成的圆筒、固定挡片以及保护玻璃。本实用新型可以将保护玻璃卡持在观察窗座内腔中,并与观察玻璃贴合,达到最佳观察效果。保护玻璃在观察玻璃与真空腔室形成间隔,可以阻挡污染物,有效地阻止其沉积在观察玻璃上,减少观察玻璃的拆卸次数,保护观察玻璃不被污染,达到保护观察窗的目的。本实用新型由一张带有固定挡片的不锈钢薄板制成,不需要复杂的加工,制作简单。当保护玻璃经过长期使用变得模糊后,只要将圆筒从观察窗座内腔内取出,然后展开便可将保护玻璃取下进行清洗,方便简单。
IPC分类: